One-dimensional autocorrelation and power spectrum density functions of irregular regions
| Název česky | Jednorozměrná autokorelační funkce a spektrální hustota nepravidelných oblastí |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2013 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Ultramicroscopy |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0304399112002069 |
| Doi | http://dx.doi.org/10.1016/j.ultramic.2012.08.002 |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | Scanning probe microscopy; Atomic force microscopy; Roughness; Frequency analysis |
| Přiložené soubory | |
| Popis | Mikroskopii skenující sondou (SPM) lze efektivně využít pro vyhodnocení nanodrsnosti povrchů získaných různými technologickými procesy. Spektrální vlastnosti drsnosti povrchu lze hodnotit pomocí algoritmů založených na rychlé Fourierově transformaci (FFT). Pro data, které nejsou obdélníková, tento postup však selhává. V tomto příspěvku se zabýváme úpravou algoritmů vyhodnocení SPM dat, které umožňují použít na FFT založený přístup i pro nepravidelná a nesouvislá data. To otevírá nové možnosti při analýze lokální drsnosti povrchu v mnoha oblastech, např. na nanočásticích, polovodičové struktury nebo jakékoli jiné nanostrukturované vzorky připravené za použití nanotechnologických metod. Spolu s teoretickým popisem navržené metody uvádíme kritéria pro její výkon a typické výsledky jejího použití na různých vzorcích. |
| Související projekty: |