Modelling of Reactive Magnetron Sputtering with Focus on Changes in Target Utilization

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SCHMIDTOVÁ Tereza VAŠINA Petr

Rok publikování 2012
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Chemické listy
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova reactive magnetron sputtering; modelling; target utilization
Popis The paper deals with modelling of reactive magnetron sputtering of titanium with focus on changes in target utilization.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.