Zařízení pro plazmovou úpravu substrátů v povrchovém bariérovém výboji
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2015 |
Druh | Výsledky s právní ochranou |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Popis | Jedná se o mobilní zařízení pro povrchgovou úpravu vzorků pomocí povrchových výbojů |
Související projekty: |