Způsob snížení nebo odstranění organické a anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení a zařízení k jeho provádění

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

SŤAHEL Pavel ČERNÁK Mirko NAVRÁTIL Zdeněk JIRUŠE Jaroslav FIALA Jiří HANIČINEC Martin

Rok publikování 2015
Druh Patent
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Vydavatel Úřad průmyslového vlastnictví
Stát vydání Česká republika
Číslo patentu 305097
Popis Způsob snížení nebo odstranění organické a, nebo anorganické kontaminace vakuového systému zobrazovacích a analytických zařízení, kde alespoň část plochy vnitřního povrchu vakuovaného prostoru vakuového systému se opatří fotokatalytickou vrstvou, přičemž alespoň část této fotokatalytické vrstvy se chladí na teplotu v intervalu od 0 do 280 K, přičemž řečená fotokatalytická vrstva je dále alespoň z části ozařována elektromagnetickým zářením, které aktivuje fotokatalytickou reakci této fotokatalytické vrstvy s adsorbovanými plyny atmosféry vakuovaného vnitřního prostoru vakuového systému, kde tato reakce rozkládá kontaminanty a snižuje jejich koncentraci a, nebo koncentraci vody ve vakuovaném vnitřním prostoru vakuového systému. Tento způsob a zařízení k jeho provádění umožňuje snížení nežádoucí organické a anorganické kontaminace vakuových systémů, a to nejen v procesu výroby, ale také umožňuje snížení kontaminace v již provozovaných systémech, jako jsou např. SEM, TEM, SEM FIB, XPS, MALDI, SIMS a další analytické a inspekční techniky.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.