Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Studium ionizačního podílu titanu v reaktivním HiPIMS procesu
Autoři	BERNÁTOVÁ Katarína KLEIN Peter HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr
Rok publikování	2021
Druh	Další prezentace na konferencích
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Prezentace popsala a vysvětlila chování časového vývoje hustot rozprašovaných částic a jejich ionizační podíl v blízkosti terče a substrátu během HiPIMS procesu. Byly porovnány čtyři hlavní režimy hystereze v argon-dusíkové atmosféře včetně dvou v kovovém režimu, přechodovém režimu a otráveném režimu.
Související projekty:	Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev R&D centre for plasma and nanotechnology surface modifications