Spektrální elipsometrická charakterizace tenkých epitaxních vrstev Si_(1-x)Ge_x
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1994 |
Druh | Kapitola v knize |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Související projekty: |
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1994 |
Druh | Kapitola v knize |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Související projekty: |