Depozice a charakterizace tenkých vrstev připravených ze směsi TEOS+O2 ve vf plazmatu

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan NAVRÁTIL Karel BOCHNÍČEK Zdeněk
Rok publikování	1995
Druh	Kapitola v knize
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek