Kinetika reakcí plynné fáze O_2+TEOS v řízeném rf reaktoru s elektronovou spinovou rezonancí

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

JANČA Jan TÁLSKÝ Antonín ZVONÍČEK Vilém

Rok publikování 1996
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Chemistry and Plasma Processing
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.