Kinetika reakcí plynné fáze O_2+TEOS v řízeném rf reaktoru s elektronovou spinovou rezonancí

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	JANČA Jan TÁLSKÝ Antonín ZVONÍČEK Vilém
Rok publikování	1996
Druh	Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj	Plasma Chemistry and Plasma Processing
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek