Úplná optická charakterizace neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev pomocí víceúhlové elipsometrie
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 1999 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Jemná mechanika a optika |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Optika, masery a lasery |
Popis | V této práci je popsána elipsometrická metoda umožňující určit hodnoty všech optických parametrů, tj. hodnoty indexů lomu a tlouštěk, neabsorbujících dvojvrstev a trojvrstev umístěných na absorbujících podložkách. |
Související projekty: |