Higher harmonic frequencies of discharge voltage and current in a capacitively coupled plasma

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Vyšší harmonické frekvence výbojového napětí a proudu v kapacitně vázaném plazmatu
Autoři

DVOŘÁK Pavel ŽEMLIČKA Radek PŘIBYL Roman TKÁČIK Maroš PÁLENIK Juraj VAŠINA Petr SKOPAL Petr NAVRÁTIL Zdeněk BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2022
Druh Vyžádané přednášky
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Zvaná přednáška shrnula několik let výzkumu vyšších harmonických frekvencí, které jsou spontánně generované v kapacitně vázaném plazmatu díky nelinearitě elektrických vlastností plazmatu. Přednáška shrnula vznik vyšších harmonických frekvencí, způsob jejich měření a problematiku Langmuirovy sondy bez vf. kompenzace, výpočet vyšších harmonických měření a jejich chování v řadě případů a na závěr důvod reakce vyšších harmonik na vznik nebo odleptání tenké vrstvy v plazmatických procesech.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.