The ignition of low-pressure capacitively coupled discharge
| Název česky | Zapalování nízko-tlakého kapacitně vázaného výboje |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2024 |
| Druh | Konferenční abstrakty |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Popis | Během první fáze zapalování silné elektrické pole silně proniká do celé oblasti výboje a EEDF je ne-Maxwellovské s přítomností elektronových skupin s vysokou energií. V další fázi se vyvene bulk plasma se slabším polem a vyšší koncetrací elektronů, ale potenciál plazmatu je nezvykle vysoký. Stabilizace potenciálu plazmatu a vývoj stejnosměrného předpětí je dosaženo až za desítky mikrosekund, protože vývoj elektrické asymetrie je kontrolován pomalým proudem iontů. |
| Související projekty: |