Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge
Autoři | |
---|---|
Rok publikování | 2003 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | Proceedings of 16th ISPC |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Deposition; thin organosilicon polymer films; atmospheric pressure; glow discharge |
Popis | Deposition of thin organosilicon polymer films in atmospheric pressure glow discharge |
Související projekty: |
|