Optical characterization of ZnSe thin films

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan KLAPETEK Petr MONTAIGNE-RAMIL Alberto BONANNI Alberta STIFTER David SITTER Helmut

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference 19th Congress of the International Commission for Optics: Optics for the Quality of Life
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/SPIE4829_831.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova ZnSe; Optical constants; Ellipsometry
Popis In this paper the optical method based on multisample modification variable angle spectroscopic ellipsometry (VASE) is used to characterize thin films of ZnSe prepared by molecular beam epitaxy onto GaAs single crystal substrates. It is found that this method can be employed for determining the spectral dependences of the optical constants and values of the thicknesses of the films mentioned. Moreover, it is shown that using this method the RMS values of the heights and the values of the correlation length characterizing roughness irregularities of the upper boundaries of the films can be determined as well. The application of the method is illustrated by means of characterizing six samples of the ZnSe-films exhibiting different values of the thicknesses.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.