Characterization of thin films non-uniform in optical parameters by spectroscopic digital reflectometry

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

OHLÍDAL Ivan OHLÍDAL Miloslav KLAPETEK Petr ČUDEK Vladimír JÁKL Miloš

Rok publikování 2003
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Proceedings of SPIE
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Optika, masery a lasery
Klíčová slova fims nonuniform in optical parameters; optical characterization
Popis In this paper, a new optical method for characterizing nonuniform thin films is employed. For applying this method the special experimental arrangement containing CCD camera as a detector is used. Using this experimental arrangement the spectral dependences of the local reflectances are obtained. After treating these experimental data the distributions of the values of the local thicknesses and local refractive index along a large areas of the substrates of the nonuniform films are found. Moreover, it is shown that this method can be used to determine strong nonuniformities in both the optical parameters.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.