Optical emission spectroscopy of argon plasma generated by surfatron at frequency 2.45 GHz

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	STRAŇÁK Vítězslav CIUPINA V. NAVRÁTIL Zdeněk MUSA G. SLAVÍČEK Pavel VLADOIU R. ŠPATENKA Petr TICHÝ Milan TRUNEC David
Rok publikování	2004
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of the 17th Escampig 2004
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	surfatron plasma; argon; optical emission spectroscopy
Popis	The paper presents results of optical emission spectroscopy study of surfatron-based argon plasma. Plasma is formed in quartz tube, which is placed in the surfatron cavity powered by a microwave magnetron generator working with frequency 2.45 GHz. The plasma inside the tube is sustained downstream by a surface wave, which propagates along the plasma column. The quartz nozzle ends in a vacuum chamber pumped by a rotary oil pump. The pressure inside the chamber as well as the flow rate of the working gas is independently variable. We estimated plasma parameters as rotational and vibrational temperature from the measured spectra of OH and N2.
Související projekty:	Depozice tenkých vrstev a modifikace povrchů v tichém a doutnavém výboji za atmosférického tlaku Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek