Comparison of effective medium approximation and Rayleigh-Rice theory concerning ellipsometric characterization of rough surfaces
| Název česky | Srovnání teorie efektivního prostředí a Rayleigho-Riceovy teorie týkající se elipsometrického studia drsných povrchů |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2005 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Optics Communications |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/OC248_459.html |
| Obor | Optika, masery a lasery |
| Klíčová slova | Roughness; Ellipsometry; EMA; RRT |
| Popis | V tomto článku je presentována teoretická analýza správnosti aplikace aproximace efektivního prostředí (EMA) při elipsometrických studiích drsných povrchů. V rámci této analýzy Rayleigh-Riceova teorie (RRT) je použita pro výpočet simulovaných elipsometrických dat různě slabě náhodně drsných povrchů. Tato simulovaná data jsou zpracována pomocí metody nejmenších čtverců kvůli nalezení hodnot parametrů charakterizujících drsné povrchy z hlediska EMA, tj. nalezení hodnot tloušťky a faktoru uspořádání popisujících fiktivní (efektivní) tenkou vrstvy nahrazující tyto povrchy v rámci EMA. Je ukázáno, že EMA může být využita k interpretaci elipsometrických dat drsných povrchů správným způsobem, pokud jejich drsnost obsahuje pouze vysoké prostorové frekvence. Pro nízké prostorové frekvence je ukázáno, že vliv povrchové drsnosti je malý ve srovnání s odrazivostí. Navíc je ukázáno, že EMA musí být použita opatrně pro charakterizaci drsných povrchů a že je nemožné kvantitativně srovnávat hodnoty tlouštěk určené pomocí EMA v rámci elipsometrické analýzy s rms hodnotami výšek povrchových nepravidelností určenými pomocí AFM. |
| Související projekty: |