Carbon nanotubes synthesis in microwave plasma torch at atmospheric pressure
Název česky | Syntéza uhlíkových nanotrubek v mikrovlnném pochodňovém výboji za atmosferického tlaku |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING: C |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | carbon nanotubes; microwave torch |
Popis | Uspořádané vrstvy vícestěnných uhlíkových nanotrubek byly deponovány v mikrovlném výboji za atmosférického tlaku na křemíkových substrátech s difuzní bariérou SiO2 a tenkou vrstvou katalyzátoru. Depozice probíhala ve směsi plynů argon, vodík a metan. Jako katalyzátor sloužilo železo nebo nikl. Optimální teplota pro depozi na substrátech Si/SiO2/Fe byla 970 K. V případě těchto depozic prokázala analýza depozitu metodou SEM přítomnost uspořádaných nanotrubek o průměru 15 nm. Analýza TEM dále prokázala přítomnost částic amorfního uhlíku ve vrstvě a defektů ve struktuře nanotrubek. V Ramanovském spektru byly nalezeny dva píky a to 1332 a 1584 cm-1. Nanotrubky bylo také možno připravit na substrátech bez difúzní bariéry SiO2 ale jejich kvalita byla nižší. Depozice s katalyzátorem Ni vyžadovale nižší depoziční teplotu a uspořádanost vrstvy byla horší. Depozice byla dále monitorována optickou emisní spektroskopií. V optickém spektru byly identifikovány atomové čáry Ar a H a dále molekulární pásy CH, CN a intenzivní pás C2. Přítomnost pásu CN je zřejmě způsobena zbytkovou atmosférou. |
Související projekty: |