Energy Dependence of the Sensitivity of an Ion Energy and Mass Spectrometer

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Závislost citlivosti hmotnostního a energiového spektrometru na energii iontů
Autoři

DVOŘÁK Pavel ORAL Martin JANČA Jan

Rok publikování 2006
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czechoslovak Journal of Physics B
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma; IED; IAD; mass spectrometry; plasma process monitor
Popis Práce se zabývá výpočtem závislosti citlivosti hmotnostního a energiového spektrometru (PPM 421, Balzers) na energii iontů vlétávajících do spektrometru. Nejdříve byla spočítána závislost "kritického úhlu" na energii iontů. Kritický úhel je maximální úhel mezi rychlostí iontu a optickou osou vstupní iontové optiky spektrometru, pod kterým může iont do spektrometru vletět, aby pronikl vstupní optikou do dalších částí spektrometru. Pro výpočet byly použity programy ELD a TRASYS. Propustnost vstupní iontové optiky byla spočítána integrací rozdělení úhlů dopadu iontů (IAD) až po kritický úhel. Protože IAD nejsou ve většině případů známá, byla navržena přibližná metoda výpočtu založená na předpokladu, že složky rychlosti iontů kolmé na optickou osu spektrometru mají Maxwellovo rozdělení, zatímco složka rychlosti rovnoběžná s optickou osou je zvýšena při průletu stěnovou vrstvou prostorového náboje. Metoda je vhodná zejména pro nízkotlaké výboje, ve kterých ve stěnové vrstvě nedochází k velkému množství srážek. V práci je ukázáno, že za platnosti výše uvedených předpokladů způsobuje spektrometr mnohem menší deformaci měřených energiových rozdělení iontů než by tomu bylo v případě izotropní IAD.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.