Mechanical properties of thin silicon films deposited on glass and plastic substrates studied by depth sensing indentation technique
Název česky | Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek v odborném periodiku |
Časopis / Zdroj | Journal of Non-Crystalline Solids |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
Klíčová slova | amorphous semiconductors; silicon; mechanical properties; creep; hardness; intendation; microintendation;ELASTIC-MODULUS; COATED SYSTEMS |
Popis | Studium mechanických vlastností tenkých křemíkových vrstev deponovaných na skleněné a plastové podložky instrumentovanou indentační technikou |
Související projekty: |