Efficient excimer source in rare gases/chlorine mixtures
Název česky | Účiiné excimerní zdroje ve směsích vzácné plyny/chlór |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2006 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | 7th International Balkan Workshop on Applied Physics - Abstracts |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | Surface Barrier Discharge; Excimer mixtures |
Popis | Parametry účinného zdroje excimerního záření generovaném ve směsi vzácné plyny/chlór jsou určovány pomocí optické emisní spektroskopie. |
Související projekty: |
|