Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel JANČA Jan BURŠÍK Jiří BLÁHOVÁ O. PEŘINA V. KLAPETEK P.

Rok publikování 2006
Druh Článek ve sborníku
Konference Application of Nanocrystalline Diamond and Diamond Like Carbon Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; DLC; mechanical properties; adhesion; thermal stability
Popis Silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings Prepared Using Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.