Deposition and analysis of thin films produced in atmospheric pressure glow discharge

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Depozice a analýza tenkých vrstev vytořených v atmosférickém doutnavém výboji
Autoři

ŠÍRA Martin BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel TRUNEC David

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova atmospheric pressure glow discharge thin films
Popis Tenké polymerní organosilikonové vrstvy byly deponovány v atmosférickém doutnavém výboji. Výboj byl zapálen v dusíku s malou příměsí hexamethyldisiloxanu. Teplota substrátu byla zvýšena až na 120 stupňů celsia za účelem zvýšení tvrdosti vrstev. Mezi doutnavým a filamentním výbojem bylo rozlišováno pomocí měření elektrických veličin. Mechanické vlastnosti vrstev byly určeny mikrotvrdoměrem. Vrstvy byly polymerního charakteru, průhledné v optickém spektru s uniformní tloušťkou a nízkou drsností.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.