Deposition of thin films on glass substrate in atmospheric pressure glow discharge

• Název česky: Depozice tenkých vrstev v atmosférickém doutnavém výboji na skleněný substrát.
• Autoři: ŠÍRA Martin; BURŠÍKOVÁ Vilma; TRUNEC David
• Rok publikování: 2007
• Druh: Článek ve sborníku
• Konference: Book of Contributed Papers of The 3rd Seminar on New Trends in Plasma Physics and Solid State Physics
• Fakulta / Pracoviště MU: Přírodovědecká fakulta
• Obor: Fyzika plazmatu a výboje v plynech
• Klíčová slova: atmospheric pressure glow discharge; thin films
• Popis: Doutnavý výboj za atmosférického tlaku byl použit k depozici tenkých vrstev na skleněný substrát z monomeru hexamethyldisiloxanu (HMDSO).

Související projekty

• Depozice tenkých vrstev v dielektrických bariérových výbojích za atmosférického tlaku