Optical characterization of diamond-like carbon thin films non-uniform in thickness using spectroscopic reflectometry

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optická charakterizace diamantu podobných tenkých vrstev neuniformních v tloušťce za pomocí spektroskopické reflektometrie
Autoři

OHLÍDAL Ivan NEČAS David BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel OHLÍDAL Miloslav

Rok publikování 2008
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Diamon-like carbon films; Non-uniformity in thickness; Material parameters; Optical constants
Popis Two formulae expressing the reflectance of non-uniform thin films are presented. The first of them corresponds to the arbitrary shapes of this non-uniformity and illuminated light spot under assumption that this non-uniformity is sufficiently slight. The second formula corresponds to the wedge-shaped non-uniformity of arbitrary magnitude within the circular light spot. It is shown that both the formulae are suitable for the successful optical characterization of non-uniform diamond-like carbon (DLC) thin films in contrast to the usually used reflectance formula for the uniform thin films. Within the optical characterization the values of the standard deviation of non-uniformity is determined together with the correct values of the mean thickness and material parameters corresponding to the dispersion model based on the parameterization of the density of electronic states. On the basis of the material parameters determined the correct spectral dependences of the optical constants of the DLC films studied are calculated.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.