Influence of cross-correlation effects on the optical quantities of rough films

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Vliv vzájemných korelačních efektů na optické veličiny drsných vrstev
Autoři

FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan NEČAS David

Rok publikování 2008
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Optics Express
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Optika, masery a lasery
Klíčová slova Roughness; Rayleigh-Rice theory; Cross-correlation effects
Popis Within the Rayleigh-Rice theory the influence of layer boundary roughness on coherently reflected light is expressed using very complex formulae. Therefore we deal with the simplification of these formulae by employing an approximation based on neglecting cross-correlation effects between both the rough boundaries. It is shown that if the mean distance of the boundaries (mean thickness) is sufficiently large in comparison with the lateral dimensions of the roughness it is possible to describe the individual boundaries of the layers by matrices corresponding to isolated rough surfaces. This fact enables us to simplify the formulae for the optical quantities in a substantial way, which also simplifies the numerical calculation needed for the inverse problem. This statement is illustrated by means of a numerical analysis simulating ellipsometric and reflectometric data of rough silicon dioxide layers placed onto silicon single crystal substrates.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.