Structural and defect changes of hydrogenated SiGe films due to annealing up to 600degC

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Strukturální a poruchové změny hydrogenovaných SiGe vrstev vlivem žíhání do 600degC
Autoři	SLÁDEK Petr SŤAHEL Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma
Rok publikování	2009
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	Pro lepší pochopení role vodíku na poruchy a uspořádanost nedopovaných nano a mikrokrystalických vrstev SiGe:H jsme zkoumali závislost mechanických a optoelektrických vlastností na depozičních podmínkách, zejména tlaku v plasmatu. \výsledky ukazují na různé chování vodíku v závislosti na růstovém mechanismu tenkých vrstev.
Související projekty:	Nanometrologie využívající metod rastrovací sondové mikroskopie