Effect of Nitrogen Incorporation on Optical Properties of DLC Layers

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

MURESAN Mihai George ZAJÍČKOVÁ Lenka FRANTA Daniel NEČAS David

Rok publikování 2010
Druh Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Popis Diamond-like carbon (amorphous hydrogenated carbon: a-C:H) films doped with different amount of nitrogen were deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) using capacitively coupled rf discharge 13.56 in the mixture of CH4/H2/N2 on silicon substrates. Nitrogen content allowed reduction of the inherent internal stress of the DLC layer. DC self-bias, time and gas feed composition parameters were used for modification of the optical properties, adhesion to substrates, chemical composition and structure of the deposited films.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.