Mechanical Properties of Ultrananocrystalline Thin Films Deposited Using Dual Frequency Discharges

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Mechanické vlastnosti ultrananokrystalickýh tenkých vrstev deponovaných pomocí dvoufrekvenčního výboje
Autoři

BURŠÍKOVÁ Vilma BLÁHOVÁ Olga KARÁSKOVÁ Monika ZAJÍČKOVÁ Lenka JAŠEK Ondřej FRANTA Daniel KLAPETEK Petr BURŠÍK Jiří

Rok publikování 2011
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj CHEMICKÉ LISTY
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://www.chemicke-listy.cz/docs/full/2011_14_s98-s101.pdf
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova ultrananocrystalline diamond; plasma enhanced chemical vapor deposition; dual frequency discharge; local mechanical properties
Popis Práce popisuje depozici nanostrukturních diamantových vrstev s nízkou povrchovou drsností, vysokou tvrdostí a odolností vůči zlomu. Ta byla prováděna metodou mikrovlného PECVD v reaktoru typu ASTeX. Užitými plyny byly vodík a metan
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.