Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Konfidenční interval pro vzdálenost dvoch mikro/nano struktúr a její aplikace v dimensionální metrologii
Autoři

WIMMER Gejza KAROVIČ Karol WITKOVSKÝ Viktor KÖNING Rainer

Rok publikování 2011
Druh Článek ve sborníku
Konference Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Aplikovaná statistika, operační výzkum
Klíčová slova Length Comparator; Dimensional Metrology; Confidence Intervals
Popis Navrhla se metoda pro výpočet aproximatívního konfidenčního intervalu (Bonferroniho typu) pro vzdálenost dvoch mikro a/anebo nanostruktur při použití údajů dálkového komparátora. Tento postup zabezpečuje určení souřadníc hran, polohy a šířky struktury pomocí jejího fotometrického profilu. Postup je demonstrován na datach z komparátora v PTB Braunschweig v Německu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.