Přejít k obsahu | Přejít k hlavnímu menu | Přejít k vyhledávání

Informace o projektu
Studium plazmochemických procesů pomocí mikrovlnné a optické spektroskopie

Informace

Projekt nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka projektu je na webu muni.cz.
Logo poskytovatele
Kód projektu
GP202/01/P106
Období řešení
1/2001 - 1/2003
Investor / Programový rámec / typ projektu
Grantová agentura ČR
  • Postdoktorské projekty
Fakulta / Pracoviště MU
Přírodovědecká fakulta

Vybrané plazmochemické reakce budou studovány v různých typech výbojů (nízkotlaký vysokofrekvenční výboj, nízkotlaký stejnosměrný výboj, nízkotlaký mikrovlnný výboj, vysokotlaký mikrovlnný hořák, doutnavý výboj za atmosférického tlaku, atd.) za pomocí el ektronové paramagnetické rezonance (EPR) a optické emisní spektroskopie (OES). Projekt se soustředí hlavně na následující oblasti: (i) Vliv příměsí na heterogenní (povrchové) reakce, zejména na povrchovou rekombinaci atomů. Koncentrace daných atomů v doh asínání bude určena v závislosti na množství příměsi, pozici v dohasínání, teplotě stěn, atd. Cílem je porozumět lépe tomuto procesu, popsat ho jak experimentálně tak teoreticky a na závěr navrhnout možné aplikace, např. zvýšení rychlosti nitridace. (ii) Určení rychlostních konstant hlavních reakcí mezi organosilikonovými sloučeninami (TEOS, HMDSO, HMDSZ, OMTS) a atomárním kyslíkem či dusíkem metodou EPR. Tyto konstanty pak umožní optimalizovat současné depoziční techniky, např. výběrem nejvhodnějšího

Publikace

Počet publikací: 35

2005

2004

2003

Předchozí 1 2 3 4 Další

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.