Informace o projektu
Porozumění hybridnímu PVD-PECVD procesu s cílem řídit růst nanostrukturovaných kompozitních vrstev

Informace

Projekt nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka projektu je na webu muni.cz.

Kód projektu

GAP205/12/0407

Období řešení

1/2012 - 12/2016

Investor / Programový rámec / typ projektu

Grantová agentura ČR

Standardní projekty

Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.

Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanostrukturovaných kompozitních materiálů typu n-MC/a-C(:H). Hlavním cílem tohoto projektu je provést rozsáhlou diagnostiku depozičního plazmatu a porozumět souvislostem mezi parametry depozičního procesu, vlastnostmi depozičního plazmatu a vlastnostmi deponovaných vrstev.

Publikace

Počet publikací: 60

2015

Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in a HiPIMS discharge

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in HIPIMS discharge

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Nanocomposite nc-TiC/a-C:H protective coatings: from process characterization to mass production

SOUČEK Pavel VAŠINA Petr BURŠÍKOVÁ Vilma ŽEMLIČKA Radek ZÁBRANSKÝ Lukáš CAHA Ondřej BURŠÍK Jiří PEŘINA Vratislav PEI Y.T. DE HOSSON J.Th.M.

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Observation of cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behaviour in HiPIMS

KLEIN Peter HNILICA Jaroslav HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Článek ve sborníku

Book of Contributed Papers, rok: 2015
Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species

HNILICA Jaroslav SOUČEK Pavel BERNÁTOVÁ Katarína VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Spoke induced cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS

KLEIN Peter HNILICA Jaroslav HUBIČKA Zdeněk ČADA Martin VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Structure and mechanical properties of Ni doped nc-TiC/a-C(:H) coatings

DANIEL Josef SOUČEK Pavel ZÁBRANSKÝ Lukáš STUPAVSKÁ Monika BERNÁTOVÁ Katarína BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Článek ve sborníku

Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015. Book of Contributed Papers, rok: 2015
Study of Ni doped nc-TiC/a-C(:H) coatings prepared by hybrid PVD-PECVD process

DANIEL Josef ZÁBRANSKÝ Lukáš SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
Temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge

FEKETE Matej HNILICA Jaroslav VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty

2014

Automatic and robust deposition process control to grow hard nc-TiC/a-C:H coatings using industrial magnetron sputtering devices

ŽEMLIČKA Radek JÍLEK Mojmír VOGL Petr SOUČEK Pavel BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr

Konferenční abstrakty

Rok: 2014, druh: Konferenční abstrakty