Modelling of plasma potential waveform in capacitively coupled discharges

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Počítání časového průběhu potenciálu plazmatu v kapacitně vázaných výbojích
Autoři

DVOŘÁK Pavel ŽEMLIČKA Radek

Rok publikování 2012
Druh Článek ve sborníku
Konference Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass - Book of Extended Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova capacitively coupled discharges; plasma potential; higher harmonic frequencies
Popis Prezentace vytvářeného modelu elektrického chování kapacitně vázaných výbojů. Model obsahuje nelineární chování stěnových vrstev prostorového náboje u obou elektrod.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.