Modelling of plasma potential waveform in capacitively coupled discharges

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Počítání časového průběhu potenciálu plazmatu v kapacitně vázaných výbojích
Autoři	DVOŘÁK Pavel ŽEMLIČKA Radek
Rok publikování	2012
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Potential and Applications of Surface Nanotreatment of Polymers and Glass - Book of Extended Abstracts
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	capacitively coupled discharges; plasma potential; higher harmonic frequencies
Popis	Prezentace vytvářeného modelu elektrického chování kapacitně vázaných výbojů. Model obsahuje nelineární chování stěnových vrstev prostorového náboje u obou elektrod.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Vzdělávací a kontaktní středisko pro průmyslové nanotechnologické úpravy povrchů CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy