Enhanced permeability dielectric thin films with tailored properties deposited by magnetron sputtering on silicon

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Dielektrické tenké vrstvy se zvýšenou permeabilitou a s přizpůsobenými vlastnostmi nanášené magnetronovým naprašováním na křemíku
Autoři

FALUB Claudiu V. PIETAMBARAM Srinivas V. YILDIRIM Oguz MEDUŇA Mojmír CAHA Ondřej HIDA Rachid ZHAO Xue AMBROSINI Jan ROHRMANN Hartmut HUG Hans J.

Rok publikování 2019
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj AIP Advances
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www Full Text
Doi http://dx.doi.org/10.1063/1.5079477
Klíčová slova Magnetic hysteresis; Metal oxides; X-ray diffraction; Magnetron sputtering; X-ray reflectivity; X-ray fluorescence
Popis Studovali jsme strukturní a magnetické vlastnosti dielektrik s rozšířenou permeabilitou (EPD) FeCo / Al2O3 - vícevrstvé tenké vrstvy nanesené na destičkách 8 "-Si v průmyslovém magnetronovém naprašovacím systému.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.