Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	ZAJÍČKOVÁ Lenka KRZYŽÁNKOVÁ Michaela JANČA Jan
Rok publikování	1995
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis	Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek