Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka KRZYŽÁNKOVÁ Michaela JANČA Jan

Rok publikování 1995
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of 17th Symposium on Plasma Physics and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Popis Effects of DC bias on the PECVD deposition of thin films from octamethylcyclotetrasiloxane (OMTS) and oxygen mixtures
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.