Mode transition in r.f. capacitive discharge in hydrogen

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of 26th ICPIG
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova rf capacitive discharges; mode transition; hydrogen
Popis We have studied low-pressure capacitively coupled rf discharges in hydrogen. Two different discharge modes were observed. These two modes differ significantly in the plasma potential and in the nature of sheaths. For diagnostic purposes the Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and Lamgmuir probe were used.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.