Mode transition in r.f. capacitive discharge in hydrogen

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Autoři	DVOŘÁK Pavel ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	Proceedings of 26th ICPIG
Fakulta / Pracoviště MU	Fakulta informatiky
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	rf capacitive discharges; mode transition; hydrogen
Popis	We have studied low-pressure capacitively coupled rf discharges in hydrogen. Two different discharge modes were observed. These two modes differ significantly in the plasma potential and in the nature of sheaths. For diagnostic purposes the Plasma Process Monitor, optical emission spectroscopy and Lamgmuir probe were used.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek