Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem
Autoři

BUBLAN Martin VAŠINA Petr DE POUCQUES Ludovic BOISSE-LAPORTE Caroline IMBERT Jean-Christophe TOUZEAU Michel

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference WDS 03 Proceeding of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova optical emission spectroscopy; optical absorption spectroscopy; IPVD; magnetron
Popis Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.