Spatial Distribution of Species in an IPVD reactor

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Prostorově rozložení částic v IPVD reactorem
Autoři	BUBLAN Martin VAŠINA Petr DE POUCQUES Ludovic BOISSE-LAPORTE Caroline IMBERT Jean-Christophe TOUZEAU Michel
Rok publikování	2003
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS 03 Proceeding of Contributed Papers
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	optical emission spectroscopy; optical absorption spectroscopy; IPVD; magnetron
Popis	Výsledky optické emisní a absorpční spektroskopie z reaktoru obsahujícího magnetron a dvě mikrovlnné antény jsou diskutovány společně s výsledky vrstev z rastrovacího elektronového mikroskopu.
Související projekty:	Studium plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek