Influence of silicon, oxygen and nitrogen admixtures on the properies of plasma deposited amorphous diamond-like carbon coating
Název česky | Vliv přísad křemíku, kyslíku a dusíku na vlastnosti amorfních diamantu-podobných uhlíkových vrstev |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2005 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | International Conference ELMECO-5, Book of Abstracts |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | DLC; protective coatings; PECVD |
Popis | modifikace diamantupodobných vrstev pomocí křemíku, kyslíku a dusíku. optimalizace mechanických vlastností |
Související projekty: |