Ionized physical vapor deposition by high power fast pulsed magnetron discharge

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Rychlý pulzní magnetronový výboj velkého výkonu pro IPVD
Autoři

GANCIU Mihai VAŠINA Petr MEŠKO Marcel IMBERT Jean-Christophe DE POUCQUES Ludovic BOISSE-LAPORTE Caroline BRETAGNE Jean TOUZEAU Michel VOLDOIRE Olivier HUGON Marie-Christine AGIUS Bernard

Rok publikování 2005
Druh Článek ve sborníku
Konference Actes du workshop Nouveaux oxydes a forte permittivite dans l integration des semi-conducteurs
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova pulsed magnetron discharge; IPVD
Popis Studium nově vyvinutého pulzního magnetronového výboje s preionizací
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.