Investigation of the mechanical properties of the thin tungsten films deposited by Thermionic Vacuum Arc (TVA) methode
Název česky | Vyšetření mechanických vlastností tenkých wolframových vrstev připravených metodou TVA |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2007 |
Druh | Článek ve sborníku |
Konference | 18th International Symposium on Plasma Chemistry, Abstracts and Full-Papers CD |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
Klíčová slova | TVA;tungsten;mechanical properties |
Popis | Vyšetření mechanických vlastností tenkých wolframových vrstev připravených metodou TVA |
Související projekty: |