Plasma treatment of silicon surface

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Plazmová úprava povrchu křemíku
Autoři

SKÁCELOVÁ Dana HANIČINEC Martin SŤAHEL Pavel ČERNÁK Mirko

Rok publikování 2010
Druh Článek ve sborníku
Konference Potential and Applications of Thin Ceramic and Metal Coatings
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova silicon surface - dielectric barrier discharge - plasma treatment
Popis Příspěvek se zaměřuje na plazmovou úpravu povrchu krystalického křemíku. Plazma bylo buzeno Difúzním Koplanárním Povrchových Bariérovým Výbojem (DCSBD) za atmosférického tlaku ve vzduchu. Pomocí metody kontaktních úhlů byla studováná povrchová energie a pomocí mikroskopie atomárních sil (AFM) byla zkoumána drsnost povrchů křemíku před a po plazmové úpravě.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.