Informace o projektu
Charakterizace vrstevnatých systémů s náhodně drsnými rozhraními pomocí optických a rtg metod
- Kód projektu
- GA202/98/0988
- Období řešení
- 1/1998 - 1/2000
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba RNDr. Pavel Pokorný
- Odpovědná osoba prof. RNDr. Miloslav Ohlídal, CSc.
Cílem je formulace nových teoretických přístupů umožňujících v rámci perturbační a difrakční teorie vyjádřit vztahy pro optické charakteristiky drsných systémů v koherentně i nekoherentně rozptýleném světle. Teoretické výsledky budou srovnány s výsledky měření provedenými pro vybrané vrstevnaté systémy. Dalším cílem je vývoj analytických metod dovolujících určovat optické a statistické parametry drsných vrstevnatých systémů. Dále bude provedeno srovnání nové metody perturbační teorie a teoretických přístupů používaných pro popis interakce rtg záření s drsnými vrstevnatými systémy. Budou zkoumány možnosti využití tohoto optického přístupu v rtg oblasti. Kombinace optických a rtg metod bude použita pro úplnou analýzu různých vrstevnatých systémů.
Publikace
Počet publikací: 34
2000
-
Analysis of Slightly Rough Thin Films by Optical Methods and AFM
Mikrochim. Acta, rok: 2000, ročník: 132, vydání: 1
-
Analysis of thin films by optical multi-sample methods
Acta Physica Slovaca, rok: 2000, ročník: 50, vydání: 4
-
Atomic force microscopy measurements of surface roughness quantities important in optics of surfaces and thin films
Proceedings of the 4th Seminar on Quantitative Microscopy, rok: 2000
-
Ellipsometry of Thin Film Systems
Progress in Optics, Vol. 41 (Ed. E. Wolf), vydání: Vyd. 1, rok: 2000, počet stran: 102 s.
-
Matrix formalism for imperfect thin films
Acta physica slovaca, rok: 2000, ročník: 50, vydání: 4
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry
Surface and Interface Analysis, rok: 2000, ročník: 30, vydání: 1
-
Optical characterization of thin films with randomly rough boundaries using the photovoltage method
Thin Solid Films, rok: 2000, ročník: 366, vydání: 1
1999
-
Comparison of optical and non-optical methods for measuring surface roughness
Proceedings of SPIE 3820, 11th Slovak-Czech-Polish Optical Conference on Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics, rok: 1999
-
Complete Optical Characterization of the SiO2/Si System by Spectroscopic Ellipsometry Spectroscopic Reflectometry and Atomic Force Microscopy
Surface and Interface Analysis, rok: 1999, ročník: 28, vydání: 1
-
Determination of the basic parameters characterizing the roughness of metal surfaces by laser light scattering
Journal of modern optics, rok: 1999, ročník: 46, vydání: 2