Informace o projektu
Tvrdé a supertvrdé povlaky vytvořené nekonvenčními plazmovými procesy
- Kód projektu
- GV106/96/K245
- Období řešení
- 1/1996 - 1/2000
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Komplexní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
- Odpovědná osoba Mgr. Martin Mišina, Dr.
- Odpovědná osoba doc. RNDr. Milan Hrabovský, CSc.
- Odpovědná osoba prof. Ing. Jindřich Musil, DrSc.
Cílem projektu je vyšetřit mechanismus vytváření tvrdých a supertvrdých povlaků, jako jsou nitridy přechodových kovů, tvrdé amorfní vrstvy typu SiOxNy, SiOxCy, SiOxCyHz a BN, diamantové povlaky a vrstvy typu CN, a vyvinout novou generaci tvrdých nanokompozitních povlaků tvořených nanokrystalickou fází a amorfní nebo kovovou matricí. Nanokompozitní vrstvy s ´tvrdou´matricí budou představovat nový druh supertvrdých povlaků s vysokou hodnotou Youngova modulu přužnosti. Nanokompozitní vrstvy s ´měkkou´matricí budou reprezentovat nový druh tvrdých povlaků s vyšší houževnatostí. K dosažení tohoto cíle bude prováděn koordinovaný systematický základní výzkum v následujících oblastech: (i) vytváření nanokrystalických a amorfních vrstev, (ii) vytváření ´vysokoteplotních fází´materiálů při nízkých teplotách substrátu (100 stupňů C a nižších), (iii) studium plazmochemických reakcí důležitých pro vytváření zmíněných materiálů, (iv) vzájemné mísení prvků povlaku a substrátu a (v) přilnavost tvrdých povlaků.
Publikace
Počet publikací: 32
2000
-
Optical characterization of inhomogeneous thin films of ZrO2 by spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry
Surface and Interface Analysis, rok: 2000, ročník: 30, vydání: 1
-
Plasma Pencil - New Small Scale Source for Atmospheric Surface Modification
Czechoslovak Journal of Physics, rok: 2000, ročník: 50, vydání: S3
-
Plasmachemical Deposition of Thin Films
4th Czech-Russian Seminar on Electrophysical and Thermophysical Processes in Low-Temperature Plasma, rok: 2000
-
Spectroscopic study of high power pulsed microwave discharge in nitrogen
Abstracts of invited lectures and contributed papers ESCAMPIG, rok: 2000
-
Surface Modification of Polymers by Low Pressure Plasma and Its Characterization
WDS00 Proceedings of Contributed Papers, rok: 2000
-
Treatment of trimethylborate in unipolar plasma torch
CHISA 2000, rok: 2000
1999
-
DC AC and HF Plasma Pencil - New Possibilities for Plasma Surface and Liquid Treatment at Atmospheric Pressure
Progress in Plasma Processing of Materials, rok: 1999
-
HF plasma pencil- new source for plasma surface processing
Surface and coating technology, rok: 1999, ročník: 1999, vydání: 116-119
-
Plazmochemicka depozice oteruvzdornych tenkych vrstev na plastickych materialech
Jemná mechanika a optika, rok: 1999, ročník: 1999, vydání: 7-8
-
Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku
Materiálové vědy na prahu 3. milénia, rok: 1999