Preionised pulsed magnetron discharges for ionised physical vapour deposition

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Preionizovany pulzni magnetronovy vyboj pro IPVD
Autoři

GANCIU Mihai KONSTANTINIDIS Stephanos PAINT Yoann DAUCHOT Jean-Pierre HECQ Michel DE POUCQUES Ludovic VAŠINA Petr MEŠKO Marcel IMBERT Jean-Christophe BRETAGNE Jean TOUZEAU Michel

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of Optoelectronics and Advanced Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova pulsed magnetron; preionization; transport processes
Popis Diagnostika preionizovaneho pulzniho magnetronoveho vyboje
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.