Spatial characterization of an IPVD reactor: neutral gas temperature and interpretation of optical spectroscopy measurements

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Prostorove rozlisena charakterizace IPVD reaktoru: teplota jako klicovy parametr pro interpretaci opticke emisni spektroskopie
Autoři

DE POUCQUES Ludovic IMBERT Jean-Christophe BOISSE-LAPORTE Caroline VAŠINA Petr BRETAGNE Jean TEULÉ-GAY Lionel TOUZEAU Michel

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Plasma Sources Science and Technology
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova physical vapor deposition; ionised physical vapor deposition; titanium; metal ionisation; density; magnetron
Popis Studium IPVD reaktoru s Ti katodou. Teplota jako klicovy parametr pro interpretaci vysledku.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.