Determination of electron temperature in neon RF discharge by means of collisional-radiative model

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Stanovení teploty elektronů v RF výboji v neonu pomocí srážkově-radiačního modelu
Autoři

NAVRÁTIL Zdeněk SCHMIDT J BRZOBOHATÝ Oto ŠIMEK J TRUNEC David PEKÁREK S ŠMÍD Radek PRUKNER V LAZAR Lukáš

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of ICPIG XXVIII
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova neon RF discharge; optical emission spectroscopy; collisional-radiative model
Popis Teplota elektronů v kapacitně vázaném RF výboji v neonu byla stanovena pomocí srážkověradiačního modelu. Byly zkoumány dva režimy výboje při různých tlacích (10 a 80 Pa). Byly uvažovány tři druhy rozdělovací funkce elektronů. Výsledky byly porovnány se simulací PIC/MC.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.