Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films
| Název česky | Použití spektroskopické zobrazovací reflektometrie pro analýzu plošné neuniformity diamantu podobných uhlíkových vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2009 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Diamond and Related Materials |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Optika, masery a lasery |
| Klíčová slova | diamond-like carbon films; optical properties characterization |
| Popis | Úplná optická charakterizace diamantu-podobného uhlíku (DLC) vrstev neuniformních v tloušťce je provedena pomocí spektroskopické zobrazovací reflektometrie (SIR). Je ukázáno, že použitím této techniky lze urřit plošnou mapu rozložení lokální tloušťky vrstev s libovolným tvarem tloušťkové neuniformity. Dále je ukázáno, že je v principu možno určit rozdělení indexu lomu a exktinkčního koeficientu vrstev současně s rozdělením tlouštěk, je-li zvolen vhodný disperzní model optických konstant. V tomto článku se využívá model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. Hodnoty materiálových parametrů disperzního modelu jsou též určeny. Je ukázáno, že studované vrstvy nevykazují neuniformitu v materiálových parameterech a optických konstantách. Představená metoda může být využita pro charakterizaci neuniformích vrstev jiných materiálů. |
| Související projekty: |