Application of spectroscopic imaging reflectometry to analysis of area non-uniformity in diamond-like carbon films

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Filozofickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Použití spektroskopické zobrazovací reflektometrie pro analýzu plošné neuniformity diamantu podobných uhlíkových vrstev
Autoři

OHLÍDAL Miloslav OHLÍDAL Ivan KLAPETEK Petr NEČAS David BURŠÍKOVÁ Vilma

Rok publikování 2009
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Optika, masery a lasery
Klíčová slova diamond-like carbon films; optical properties characterization
Popis Úplná optická charakterizace diamantu-podobného uhlíku (DLC) vrstev neuniformních v tloušťce je provedena pomocí spektroskopické zobrazovací reflektometrie (SIR). Je ukázáno, že použitím této techniky lze urřit plošnou mapu rozložení lokální tloušťky vrstev s libovolným tvarem tloušťkové neuniformity. Dále je ukázáno, že je v principu možno určit rozdělení indexu lomu a exktinkčního koeficientu vrstev současně s rozdělením tlouštěk, je-li zvolen vhodný disperzní model optických konstant. V tomto článku se využívá model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. Hodnoty materiálových parametrů disperzního modelu jsou též určeny. Je ukázáno, že studované vrstvy nevykazují neuniformitu v materiálových parameterech a optických konstantách. Představená metoda může být využita pro charakterizaci neuniformích vrstev jiných materiálů.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.