Defect Engineering in Czochralski-grown Silicon Studied by TEM
Název česky | Inženýrství defenktů v CZ Si studovaném pomocí TEM |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2010 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | Jako součást složité studie nukleace a růstu kyslíkových precipitátů v CZ křemíku, tato práce popisuje výsledky získané z transmisní elektronové mikroskopie. |
Související projekty: |