Influence of DLC films on higher harmonic frequencies in capacitive discharges
Název česky | Vliv DLC vrstev na vyšší harmonické frekvence v kapacitních výbojích |
---|---|
Autoři | |
Rok publikování | 2011 |
Druh | Konferenční abstrakty |
Fakulta / Pracoviště MU | |
Citace | |
Popis | Vliv vzniku nebo odleptání tekné DLC vrstvy v plazmatu na Fourierovy komponenty napětí a proudu. |
Související projekty: |