Informace o projektu
Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace
- Kód projektu
- GA15-00863S
- Období řešení
- 1/2015 - 12/2017
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Spolupracující organizace
-
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Univerzita Karlova
Řešení projektu je zaměřeno na experimentální výzkum nízkoteplotního impulzního plazmatu generovaného v systémech s planárním magnetronem a dutou katodou. Pokročilé metody diagnostiky plazmatu budou aplikovány v depozičních plazmových systémech při reaktivním pulzním naprašování dielektrických tenkých vrstev. Plazmatické systémy i v hybridním uspořádání budou optimalizovány pro depozice převážně vrstev Fe2O3 nebo Fe1-xZnxO, které budou následně sulfurizovány na FeS2 nebo Fe1-xZnxS jako perspektivní materiál na levnou výrobu tenkovrstvého fotovoltaického článku. Výzkum bude dále zaměřen také na přípravu tenkých vrstev ZnO, TiO2 atp. jako vhodných kandidátů na výsledné vytvoření heterogenního P-N přechodu. Deponované vrstvy budou charakterizovány řadou pokročilých technik. V projektu navrhujeme využít ve vzájemné synergii zkušenosti tří již dosud dlouhodobě spolupracujících pracovišť - Matematicko-fyzikální fakulty UK v Praze, Fyzikálního ústavu AV ČR v Praze a Přírodovědecké fakulty MU v Brně.
Publikace
Počet publikací: 32
2016
-
Magnetic field effect on spoke behaviour
Rok: 2016, druh: Konferenční abstrakty
-
Time resolved study of Ti sputtered species number densities in multi-pulse HiPIMS discharge
Rok: 2016, druh: Konferenční abstrakty
2015
-
Cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behavior during HiPIMS discharge
Rok: 2015, druh: Další prezentace na konferencích
-
Determination of titanium atom and ion densities in sputter deposition plasmas by optical emission spectroscopy
Plasma Sources Science and Technology, rok: 2015, ročník: 24, vydání: 6, DOI
-
Effect of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in multi-pulse HiPIMS discharge
Potential Application of Plasma and Nanomaterials 2015, rok: 2015
-
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in a HiPIMS discharge
Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
-
Influence of pulse off time on temporal evolution of sputtered species densities in HIPIMS discharge
Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
-
Observation of cathode voltage and discharge current oscillations and spoke behaviour in HiPIMS
Book of Contributed Papers, rok: 2015
-
Reactive argon/acetylene HiPIMS discharge – time-resolved diagnostic of present species
Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty
-
Spoke induced cathode voltage and discharge current oscillations in HiPIMS
Rok: 2015, druh: Konferenční abstrakty