Informace o projektu
Vývoj a průmyslová aplikace nových supertvrdých nanokrystalických kompozitních otěruvzdorných ochranných vrstev
- Kód projektu
- ME 301
- Období řešení
- 11/1998 - 11/2002
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Program KONTAKT (ME + MEB) (jen po projekty s počátkem řešení v roce 2010)
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
Hlavní cíl výzkumu a vývoje, který směřuje k průmyslové výrobě nových supertvrdých vrstev, vyžaduje široce zaměřený výzkum celé řady vědeckých a technických problémů, které nemůže SHM Šumperk (finální výrobce) provést dostatečně rychle sám. Hlavníproblém, kterí musí SHM řešit s ohledem na již existující vrstvy (TiAlSi)N je zlepšení reprodukovatelnosti výrobního procesu pomocí vývoje a zavedení vhodné dignostiky a řízení procesu. Druhý problém zahrnuje zlepšení testování vrstev, což zahrnujeměření jejich tvrdosti, modulu pružnosti a pevnosti jako funkce teploty, jakož i standartní řezné zkoušky. Třetím hlavním problémem bude vývoj nových nanokompozitních systémů s lepšími vlastnostmi než mají vrstvy TiN/a-Si3N4 používané pro strojírenskénástroje pokryté karbidem a vyvinout pokud možno ještě lepší materiály.
Publikace
Počet publikací: 26
2001
-
Diagnostics and Application of High Frequency Plasma Pencil
Plasma Chemistry and Plasma Processing, rok: 2001, ročník: 21 (2001), vydání: 4
-
Diagnostics and monitoring of TiN/AlN deposition process
Rok: 2001, druh: Prezentace v oblasti VaV (AV tvorba, WEB aplikace apod.)
-
Improvement of the Efficiency of the Silicon P-I-N cells by Silicon Incorporated Diamond-like Carbon Antireflective Coating
19th International Conference on Amorphous and Microcrystalline Semiconductors, rok: 2001
-
Modification of Plasma Deposited DLC Films by Hexamethyldisiloxane Addition
Proceedings of 13th Symposium on Application of Plasma Processes, rok: 2001
-
Optical diagnostics of inductively coupled RF discharge
SAPP 13th Symposium Proceedings, rok: 2001
-
Optical Properties of Si Incorporated Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD
JUNIORMAT 01, rok: 2001
-
Plasma Enhanced CVD of DLC:Si(O) Films from Methane/Hexamethyldisiloxane Feeds
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
-
Preparation of enhanced CN-based hard coatings by PECVD
Proceedings of 15th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2001
-
XPS and Ellipsometric Study of DLC/Silicon Interface
Vacuum, rok: 2001, ročník: 61, vydání: 2-4
2000
-
Deposition of nanocomposite CNx/SiO films in inductively coupled r.f. discharge
Diamond and Related Materials, rok: 2000, ročník: 9, vydání: 7